半导体国产替代之先进陶瓷领域

在半导体设备零部件领域，先进陶瓷占据着极为关键的地位。其价值占比约达 16% ，全球市场空间高达 400 亿元，是核心关键零部件，技术壁垒与加工难度均处于极高水平。尤其是高端陶瓷零部件中的陶瓷加热器和静电卡盘，国内市场空间均约为 30 亿，但目前国产化率尚不足 10%，这一领域被日本和美国严重 “卡脖子”，国内相关产业发展受到极大制约。

陶瓷零部件依赖进口，国产替代迫在眉睫

在先进陶瓷材料结构零部件的同行业企业中，京瓷集团、日本碍子、日本特殊陶业、摩根先进材料、CeramTec、CoorsTek 等企业凭借悠久的发展历史，在产品种类、经营规模以及技术实力等多方面均处于全球领先地位。这些企业早早涉足相关业务，经过长期的行业深耕，积累了深厚的技术底蕴。与之相比，当前国内公司在多应用领域的经验、特定产品开发与产业化以及大规模生产制造能力等方面，与国外领先厂商仍存在较大或一定程度的差距。不过，值得欣喜的是，国内厂商在部分产品线的部分核心指标已达到全球主流水平，正逐步实现技术突破。目前，国内多家厂商积极布局静电卡盘和陶瓷加热盘等高端陶瓷零部件产品，全力加速高端陶瓷零部件的国产替代进程。

美日出口管制，倒逼国内行业政策强化

2022 年 10 月 7 日，美国商务部工业与安全局（BIS）公布了针对中国的出口管制新规，在先进芯片制造以及半导体设备、零部件、材料等领域，对中国大陆的制裁再度升级。2023 年 5 月 23 日，日本经济产业省发布省令，正式出台针对 23 种半导体制造设备（或物项）的出口管制措施，并于 2023 年 7 月 23 日正式实施。从这些管制措施来看，其技术指标、应用于具体材料和工艺的描述针对性极强，主要针对先进制程相关领域。据统计，2016 - 2022 年，国内主要晶圆厂采购美系和日系设备占比均约为 35%，其中美系薄膜沉积和刻蚀设备占比均在 50% 左右。

自美国在 2022 年 10 月实施半导体出口限制后，部分设备及零部件无法继续出售给国内的先进客户。倘若陶瓷加热盘和静电卡盘等耗材类产品的替换受阻，极有可能导致产线无法正常运行。在此背景下，陶瓷零部件的国产替代需求变得极为迫切，这也为国内陶瓷零部件厂商提供了验证自身技术和实现突破的机遇。近年来，我国推出了一系列鼓励和支持先进陶瓷和半导体设备行业及下游领域发展的政策，为行业发展创造了良好的政策环境，未来国内半导体陶瓷零部件行业发展前景十分可期。

国内公司加速布局，抢占发展先机

在行业发展的浪潮中，国内公司纷纷加速布局。除了先进陶瓷材料公司 —— 珂玛科技（301611，市值 300 亿元）积极拓展业务外，深圳新星 (603978) 在 2024 年 12 月 9 日晚间发布公告，公司与浙江泓芯新材料股份有限公司（简称 “泓芯半导体”）签署了《投资协议》。双方达成共识，决定投资设立合资公司赣州市普瑞陶瓷半导体材料有限公司，该合资公司注册资本为 1000 万元。其中，深圳新星以货币加实物方式出资 700 万元，持股 70%；泓芯半导体以货币形式出资 300 万元，持股 30%。双方将围绕实现替代进口高价陶瓷材料（阿尔法球形氧化铝）展开深度合作，致力于实现陶瓷材料的大规模生产与广泛应用，为推动国内先进陶瓷材料在半导体领域的发展注入新的活力。